簡要描述:紅外米兰高赔竞猜足球是由四方儀(yi) 器自主研發的高性能米兰高赔竞猜足球,產(chan) 品基於(yu) 非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體(ti) 等應用中產(chan) 生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體(ti) ,兼容機台內(nei) 常見預留尺寸、法蘭(lan) 和通訊協議,可用於(yu) 半導體(ti) 沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節約成本,提高產(chan) 量。
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產(chan) 品名稱:紅外米兰高赔竞猜足球
產(chan) 品型號:Gasboard-2060
紅外米兰高赔竞猜足球產(chan) 品概述
紅外米兰高赔竞猜足球是由四方儀(yi) 器自主研發的高性能米兰高赔竞猜足球,產(chan) 品基於(yu) 非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體(ti) 等應用中產(chan) 生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體(ti) ,兼容機台內(nei) 常見預留尺寸、法蘭(lan) 和通訊協議,可用於(yu) 半導體(ti) 沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節約成本,提高產(chan) 量。
紅外米兰高赔竞猜足球產(chan) 品特性
(1)使用NDIR技術,多氣體(ti) 監測支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體(ti) )
(2)響應時間快,高靈敏度
(3)無耗材
(4)模擬/數字通信
(5)模塊化設計,便於(yu) 集成
紅外米兰高赔竞猜足球技術參數
檢測原理 | NDIR |
檢測氣體 | SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2 |
量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
重複性 | ±0.5% |
線性 | ±1%F.S. |
檢測限 | 1ppm |
產(chan) 品谘詢