高精度粒子計數器在顯示麵板潔淨室環境監控中的關鍵作用

近年來，全球平板顯示麵板市場規模持續擴大，下遊消費電子領域（電視、電腦、手機等）以及商用顯示、車載顯示、醫療顯示等專(zhuan) 業(ye) 顯示市場需求持續增長。為(wei) 應對市場擴容需求，LCD和OLED麵板製造過程中亟需提升良品率，以確保終端市場產(chan) 品供應並維持市場競爭(zheng) 優(you) 勢。

影響LCD與(yu) OLED質量的核心要素

在平板顯示製造工藝中，顆粒汙染與(yu) 靜電損傷(shang) 是影響良率的兩(liang) 大關(guan) 鍵因素。隨著器件小型化與(yu) 精密化發展，高密度集成電路的圖形特征尺寸及表麵沉積層厚度已縮至微米級，這使得生產(chan) 工藝對顆粒汙染更為(wei) 敏感。基底表麵顆粒沉積易引發點缺陷甚至線缺陷，直接導致產(chan) 品良率下降。

靜電汙染問題同樣不容忽視。材料間電子能級差異導致接觸時發生電荷轉移，由此產(chan) 生的靜電吸附（ESA）效應會(hui) 強力吸附周圍微粒，此類汙染難以通過常規清潔手段去除。此外，靜電放電（ESD）與(yu) 電磁幹擾引發的設備故障也會(hui) 對製程穩定性造成威脅。

潔淨室實時顆粒物監控解決(jue) 方案的價(jia) 值

通過實施潔淨室環境顆粒物實時監測係統，可及時識別顆粒濃度超標風險，並采取針對性防控措施。該方案能有效降低空氣懸浮顆粒沉降造成的基底表麵汙染，同時緩解靜電吸附（ESA）導致的次生汙染，從(cong) 而係統性提升產(chan) 品良率。

四方光電在線激光塵埃粒子計數器技術優(you) 勢

四方光電依托成熟的光散射技術，開發出OPC-6303/OPC-6510/OPC-6511/OPC-6503係列在線或便攜型粒子計數器。該產(chan) 品線具有以下核心優(you) 勢：

☞采用工業(ye) 級大功率線性激光源，確保>98%的粒子識別精度與(yu) 計數效率

☞支持多通道定製化粒徑分級（標準配置含0.3μm、0.5μm、1.0μm、2.5μm、5μm、10μm）

☞連續穩定采樣設計，MTBF（平均無故障時間）超過30,000小時

☞符合ISO21501-4、ISO14644-1:2015等國際標準，適用於(yu) 百級至十萬(wan) 級潔淨環境

☞該係列產(chan) 品已通過RoHS認證，在TFT-LCD陣列製程、OLED蒸鍍工藝等關(guan) 鍵製程環節實現規模化應用